Эпитаксия. [Ч.] 2: [сборник статей / ответственный редактор Ю. Д. Чистяков]
| Другие авторы/ответственные: | Чистяков, Ю. Д. |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники, 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Физико-химическая серия ; вып. 20 |
| Предмет: |
Загрузка...