12th Symposium on electron, ion, and laser beam technology: [proceedings / editor: Edward D. Wolf]

Автор: Symposium on electron, ion, and laser beam technology (12; 1973; Cambridge, Mass.)
Другие авторы/ответственные: Wolf, Edward D.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: [S. l. : s. n., 1973]
Язык: Английский
Серия: Journal of vacuum science & technology ; vol. 10, № 6