Pattern generation and microlithography / [guest editor: Lawrence K. Anderson]
Другие авторы/ответственные: | Anderson, Lawrence K. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | New York : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1975 |
Язык: | Английский |
Серия: |
IEEE transactions on electron devices
; vol. 22, № 7 |
Загрузка...