Papers on electrochemical microfabrication / guest editor: M. Datta

Другие авторы/ответственные: Datta, M.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Armonk, NY : International Business Machines Corporation, 1998
Язык: Английский
Серия: IBM journal of research and development ; vol. 42, № 5
Загрузка...