Papers on optical lithography / [guest editors: G. L.-T. Chiu, J. M. Shaw]
Другие авторы/ответственные: | Chiu, G. L.-T., Shaw, J. M. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Armonk, NY : International Business Machines Corporation, 1997 |
Язык: | Английский |
Серия: |
IBM journal of research and development
; vol. 41, № 1/2 |
Загрузка...