Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники: (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Л. К. Ковалев]
| Автор: | Ковалев, Л. К. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Лазерная техника и оптоэлектроника ; 1982, вып. 2 |
Загрузка...