Механические системы вакуумного технологического оборудования для производства изделий квантовой электроники. Ч. 1. Вакуумное оборудование, механизмы ввода и формирования движения: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1974―1983 гг.) / Н. В. Василенко, Л. К. Ковалев
| Автор: | Василенко, Н. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ковалев, Л. К., Волков, Д. П., Деулин, Е. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Лазерная техника и оптоэлектроника ; 1983, вып. 4 |
Загрузка...