Кремниевые эпитаксиальные пленки: (по материалам отечественных и зарубежных источников за 1970―1981 гг.) / [А. М. Полянский]
| Автор: | Полянский, А. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1981, вып. 9 |
Загрузка...