Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений АIII BV из газовой фазы. Ч. 4. Механизм роста соединений АIII BV при их получении методом пиролиза металлоорганических соединений и методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Механизм легирования соединений АIII BV в процессе газофазной эпитаксии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1984 гг.) / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш, Ю. И. Кунакин
| Автор: | Стрельченко, С. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Матяш, А. А., Кунакин, Ю. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1986, вып. 2 |
Загрузка...