Влияние термических операций на характеристики кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1958―1983 гг.) / А. Ф. Волков, Н. А. Зайцев, М. В. Суровиков
| Автор: | Волков, А. Ф. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Зайцев, Н. А., Суровиков, М. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1983, вып. 10 |
Загрузка...