Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений АIII BV из газовой фазы. Ч. 1. Элементарные процессы на поверхности монокристаллов, растущих из газовой фазы: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1982 гг.) / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш
| Автор: | Стрельченко, С. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Матяш, А. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1984, вып. 5 |
Загрузка...