Импульсное ионное и лазерное легирование материалов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1983 гг.) / Ю. К. Альтудов [и др.]

Автор: Альтудов, Ю. К.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике Материалы ; 1983, вып. 11
Загрузка...