Импульсное ионное и лазерное легирование материалов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1983 гг.) / Ю. К. Альтудов [и др.]
Автор: | Альтудов, Ю. К. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1983, вып. 11 |
Загрузка...