Разрушение пленок тугоплавких оксидов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1981 гг.) / [Н. И. Анацкая и др.]
| Автор: | Анацкая, Н. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1982, вып. 3 |
Загрузка...