Осаждение силицидов тугоплавких металлов из газовой фазы, их свойства и состав: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1986 гг.) / И. А. Голод, С. Ф. Девятова, В. Г. Ерков
| Автор: | Голод, И. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Девятова, С. Ф., Ерков, В. Г. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1987, вып. 15 |
Загрузка...