Рентгенолитография в производстве СБИС: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1983―1987 гг.) / В. И. Акифьев, Н. В. Гревцев, А. Л. Гриценко
| Автор: | Акифьев, В. Ю. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Гревцев, Н. В., Гриценко, А. Л. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 10 |
Загрузка...