Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1957―1988 гг.) / А. Н. Семенченко, Ю. П. Райнова, Ю. Д. Чистяков
| Автор: | Семенченко, А. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Райнова, Ю. П., Чистяков, Ю. Д. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1989, вып. 8 |
Загрузка...