Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов
| Автор: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Черняк, Е. Я., Козлов, А. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1982, вып. 14 |
Загрузка...