Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1980 гг.) / А. Г. Денисов, Н. А. Кузнецов, В. А. Макаренко
| Автор: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Кузнецов, Н. А., Макаренко, В. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 17 |
Загрузка...