Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления: (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970―1991 гг.) / [С. Н. Рябов, С. А. Кутолин, Н. И. Бойкин]
| Автор: | Рябов, С. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Кутолин, С. А., Бойкин, Н. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 20 |
Загрузка...