Послойный анализ полупроводниковых материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1987 гг.) / С. С. Волков, А. Б. Толстогузов
| Автор: | Волков, С. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Толстогузов, А. Б. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 4 |
Загрузка...