Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1987 гг.) / В. М. Таран, В. И. Орлов
| Автор: | Таран, В. М. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Орлов, В. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1987, вып. 16 |
Загрузка...