Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1986 гг.) / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров
| Автор: | Гуляев, Ю. В. (род. 1935) |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Яфаров, Р. К. (род. 1948) |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1989, вып. 7 |
Загрузка...