Нанесение металлов и их соединений методами магнетронного и диодного распыления: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1985 гг.) / Б. В. Корчагин, В. И. Орлов
| Автор: | Корчагин, Б. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Орлов, В. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1986, вып. 15 |
Загрузка...