Радиационно-стимулированная диффузия примесей в полупроводниках / В. В. Козловский, В. Н. Ломасов
| Автор: | Козловский, В. В. (род. 1955) |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ломасов, В. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 9 |
Загрузка...