Электронная литография: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1985 гг.) / В. К. Попов, С. Н. Ячменев
| Автор: | Попов, В. К. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ячменев, С. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 19 |
Загрузка...