Высоковакуумные методы напыления тонких пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1963―1985 гг.) / А. Г. Денисов, И. В. Закурдаев
| Автор: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Закурдаев, И. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 20 |
Загрузка...