Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении. Ч. 2. Методика осаждения слоев при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1984 гг.) / Ю. В. Васильев, М. С. Сухов
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Сухов, М. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 4 |
Загрузка...