Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки (поштучной) обработкой пластин: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1984 гг.) / [С. А. Смирнов, П. Р. Шефер]
| Автор: | Смирнов, С. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Шефер, П. Р. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 11 |
Загрузка...