Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.) / И. А. Калябина, Г. А. Крысов
| Автор: | Калябина, И. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Крысов, Г. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 12 |
Загрузка...