Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / В. В. Степанов, В. В. Сысоев
| Автор: | Степанов, В. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Сысоев, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 21 |
Загрузка...