Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1988 гг.) / Б. В. Козейкин [и др.]
| Автор: | Козейкин, Б. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1989, вып. 2 |
Загрузка...