Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.) / Ю. А. Райнов [и др.]
| Автор: | Райнов, Ю. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1987, вып. 17 |
Загрузка...