Молекулярные источники установок для молекулярно-лучевой эпитаксии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1961―1985 гг.) / А. Г. Денисов [и др.]
Автор: | Денисов, А. Г. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1986, вып. 12 |
Загрузка...