Физико-технологические особенности ионного легирования монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия для монолитных СВЧ устройств: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1982 гг.) / Б. В. Козейкин [и др.]
| Автор: | Козейкин, Б. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1983, вып. 5 |
Загрузка...