Диссоциация молекул и режим горения разряда в установках для СВЧ плазмохимической обработки: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1983 гг.) / О. В. Кудреватова
| Автор: | Кудреватова, О. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1984, вып. 11 |
Загрузка...