Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1989 гг.) / Л. А. Сейдман
| Автор: | Сейдман, Л. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1990, вып. 5 |
Загрузка...