Откачные высоковакуумные системы и их элементаня база / В. И. Орлов
| Автор: | Орлов, В. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 10 |
Загрузка...