Техника плазмохимической обработки в производстве интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1979 гг.) / [В. И. Иванов и др.]
| Автор: | Иванов, В. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1979, вып. 18 |
Загрузка...