Технология изготовления субмикронных слоев арсенида галлия / [И. А. Фролов и др.]
| Автор: | Фролов, И. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1976, вып. 9 |
Загрузка...