Автоматизированные линии для производства интегральных схем: (по материалам иностранной печати за 1969―1973 гг.) / Ю. А. Катунина, Б. К. Афанасьев
Автор: | Катунина, Ю. А. |
---|---|
Другие авторы/ответственные: | Афанасьев, Б. К. |
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология, организация производства и оборудование ; 1973, вып. 14 |
Загрузка...