Применение метода инфракрасной спектроскопии для оценки структуры и состава пленок окислов кремния силикатных стекол и нитрида кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1974 гг.) / [А. В. Климкович, А. Д. Цырлин]
| Автор: | Климкович, А. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Цырлин, А. Д. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1975, вып. 3 |
Загрузка...