Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч. 1. Тенденции развития и классификация реакторов: (по данным отечественной зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Б. Б. Сигалов]
| Автор: | Иванов, В. И. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Николайкин, Н. И., Сигалов, Э. Б. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1977, вып. 14 |
Загрузка...