Применение ионно-плазменных процессов в производстве изделий электронной техники / [В. И. Орлов]
| Автор: | Орлов, В. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология, организация производства и оборудование ; 1979, вып. 11 |
Загрузка...