Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков / [Е. Я. Черняк]
| Автор: | Черняк, Е. Я. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1979, вып. 14 |
Загрузка...