Низкотемпературная плазма и области ее применения / М. И. Березин
Автор: | Березин, М. И. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология и организация производства ; 1973, вып. 24 |
Загрузка...