Низкотемпературная плазма и области ее применения / М. И. Березин

Автор: Березин, М. И.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике Серия: Технология и организация производства ; 1973, вып. 24
Загрузка...