Проблемы микроэлектроники: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев

Другие авторы/ответственные: Валиев, К. А., Рыжий, В. И., Физико-технологический институт (Москва)
Вид документа: Продолжающиеся издания
Опубликовано: Москва : Наука, 1991
Язык: Русский
Серия: Труды ФТИАН ; т. 1
Предмет: