Проблемы микроэлектронной технологии: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
| Другие авторы/ответственные: | Валиев, К. А., Орликовский, А. А. (1938—2016), Физико-технологический институт (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1994 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
; т. 8 |
Загрузка...