Моделирование технологических процессов микроэлектроники: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
| Другие авторы/ответственные: | Валиев, К. А., Махвиладзе, Т. М., Физико-технологический институт (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1992 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
; т. 3 |
Загрузка...