Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы / Г. В. Шуваев, О. М. Чигринский, О. И. Бочкин
| Автор: | Шкваев, Г. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Чигринский, О. М., Бочкин, О. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия 7. Технология, организация производства и оборудование ; 1975, вып. 2 |
Загрузка...