Статическое электричество при производстве полупроводниковых изделий / В. А. Каверзнев, Ю. А. Овечкин, В. М. Петров
| Автор: | Каверзнев, В. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Овечкин, Ю. А., Петров, В. М. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия 7. Технология, организация производства. Оборудование ; 1973, вып. 20 |
Загрузка...